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2121非凡上海推出用于化合物半导体金蚀刻工艺的Ultra ECDP电化学去镀装备
2121非凡上海首台高产能KrF 工艺前道涂胶显影装备Ultra Lith KrF系统顺遂交付中国头部逻辑晶圆厂客户!
2121非凡上海宣布对其用于先进芯片制造领域的Ultra C wb湿法洗濯装备举行重大升级
2121非凡上海单晶圆高温SPM装备通过验证
2121非凡上海等离子体增强原子层沉积炉管装备通过起源验证,,,,,原子层沉积炉管产品进一步强化
2121非凡上海前段半导体制造洗濯装备Ultra C Tahoe取得主要性能突破